無塵烘箱是半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、精密電子及新材料研發(fā)中用于干燥、固化、老化或滅菌的關(guān)鍵設(shè)備，其核心要求是在高溫環(huán)境下維持內(nèi)部空氣的高潔凈度，防止微粒污染敏感樣品。區(qū)別于普通烘箱，
無塵烘箱通過多重技術(shù)集成，實現(xiàn)高溫+潔凈雙重保障。深入理解其各組成部件的功能特點，是確保工藝合規(guī)與產(chǎn)品良率的基礎(chǔ)。
1、高效過濾系統(tǒng)（HEPA/ULPA）
箱體進(jìn)風(fēng)口標(biāo)配H13–H14級HEPA濾網(wǎng)（可選U15級ULPA），對≥0.3μm顆粒物過濾效率達(dá)99.95%以上。部分機型采用垂直層流設(shè)計，經(jīng)風(fēng)機驅(qū)動，潔凈空氣自上而下均勻流過樣品區(qū)，有效抑制微粒沉降與渦流生成，滿足ISO14644-1Class5（百級）潔凈標(biāo)準(zhǔn)。
2、加熱與熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)
加熱元件：采用不銹鋼鎧裝電熱管或陶瓷加熱器，分布于風(fēng)道側(cè)壁，避免直接輻射樣品；
離心風(fēng)機：低噪音、耐高溫（≥250℃）風(fēng)機驅(qū)動熱風(fēng)經(jīng)高效過濾后進(jìn)入工作室，形成強制對流；
風(fēng)量可調(diào)：部分型號支持風(fēng)速調(diào)節(jié)，在保證潔凈度前提下降低氣流對輕質(zhì)樣品的擾動。
3、內(nèi)膽與結(jié)構(gòu)設(shè)計
內(nèi)膽為304或316L不銹鋼一體成型，內(nèi)角R型圓弧過渡，不積塵；
門封采用耐高溫硅膠條，配合雙層鋼化玻璃觀察窗（帶防霧加熱功能），確保密封性與可視性；
外殼噴涂抗靜電粉末，減少表面吸附灰塵。
4、智能溫控與安全系統(tǒng)
雙傳感器控溫：主控PT100實時調(diào)節(jié)，獨立超溫保護傳感器（機械式或電子式）在失控時自動斷電；
程序控制：支持多段升降溫、定時、恒溫保持，數(shù)據(jù)可記錄并導(dǎo)出；
排氣與泄壓口：帶高效過濾的排氣閥，可連接廢氣處理系統(tǒng)，適用于含溶劑揮發(fā)工藝。
5、電氣與人機交互
控制面板符合CE/UL安全標(biāo)準(zhǔn)，具備權(quán)限管理、故障報警、運行狀態(tài)顯示；
可選配RS485、Ethernet或WiFi接口，接入MES或?qū)嶒炇夜芾硐到y(tǒng)。
更新時間：2026-02-02 
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