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  • JS-HMDS30實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱  小型HMDS處理烤箱
    實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱解決光刻膠附著力不足問題,同時增強(qiáng)光刻圖形的完整性.
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    掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷?,增?qiáng)表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。
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  • 碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業(yè)烘箱
    碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用
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