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    等離子真空蒸鍍系統(tǒng) 真空等 離子鍍膜機(jī)利用高頻高壓電源在一定的真空環(huán)境或特定氣體氛圍中產(chǎn)生等離子體.通過(guò)高能離子撞擊材料表面,去除表面的污染物、雜質(zhì),使表面粗糙化,增加表面積。從而改變材料表面的化學(xué)性質(zhì),提高其親水性、粘結(jié)性、耐磨性等性能。將增粘劑(或偶聯(lián)劑、抗粘劑)氣相沉積在基材(硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料)表面后,經(jīng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將基底表面
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    更新日期

    2025-12-20
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