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半導(dǎo)體烘烤設(shè)備

等離子清洗機(jī) 檢測(cè)設(shè)備高精度恒溫?zé)岚?/a> 高低溫測(cè)試儀快速退火爐刻蝕機(jī) 馬弗爐防潮箱潔凈烘箱無(wú)氧烘箱無(wú)塵烘箱固化烤箱氮?dú)?充氮烘箱真空烤箱潔凈烤箱

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2025-09-17

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硅烷沉積系統(tǒng) 氣相沉積設(shè)備硅烷涂膠機(jī)是一種用于硅烷（Siih?）作為前驅(qū)體的薄膜沉積設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體、納米壓印脫模工藝、光伏（太陽(yáng)能電池）、顯示面板、玻璃、陶瓷納米材料等領(lǐng)域的材料制備。硅烷（SiH?）因其高反應(yīng)性和低溫沉積特性，成為沉積非晶硅（a-Si）、微晶硅（μc-Si）、氮化硅（SiN?）和氧化硅（SiO?）等薄膜的關(guān)鍵化學(xué)品。

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