最好看的日本字幕MV视频大全-最好看的MV中文字幕国语电影-最好看的2019中文大全在线观看-最近最好的2019中文-最好看的2018免费观看在线-最好看的2019年中文视频-最好看的电影2019中文字幕-最好的2019中文大全在线观看-最好看免费中文

24小時銷售熱線

18016281599

技術(shù)文章

我的位置：首頁  >  技術(shù)文章  >  HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）使用范圍

P產(chǎn)品分類RODUCT CATEGORY

HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）使用范圍

更新時間：2022-02-12      瀏覽次數(shù)：4100

HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）用途：

   HMDS Coater是通過對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）技術(shù)指標(biāo)：


1、設(shè)備名稱

HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）

2、設(shè)備型號

 JS-HMDS90-AI/MES

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 尺寸（深*寬*高）

內(nèi)腔尺寸：350×350×350/450×450×450（mm）可定制


3.2 材質(zhì)

外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

3.3 溫度使用范圍

80-200℃

3.4 溫度分辨率

0.1℃

3.5 溫度波動度

≤±0.5

3.6 真空度

≤133pa（1torr）

3.7 潔凈度

設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

AC 220V±10% / 50HZ       總功率約3.5KW    

3.9 控制儀表

人機(jī)界面

3.10擱板層數(shù)

2層

3.11 HMDS控制

可控制HMDS藥液添加量

3.12真空泵

無油渦旋真空泵

3.13 保護(hù)裝置

HMDS藥液泄漏報警裝置，HMDS低液位報警提示，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)等。


  • 電話：TEL

    021-31434441

  • 郵箱：EMAIL

    junsish@163.com

  • 傳真：FAX

    86-021-60649603

版權(quán)所有© 2025 上海雋思實驗儀器有限公司 All Rights Reserved     備案號：滬ICP備16022591號-1

技術(shù)支持：環(huán)保在線     管理登錄     sitemap.xml

TEL：021-31434441

掃碼添加微信