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半導(dǎo)體烘烤設(shè)備

等離子清洗機(jī) 檢測設(shè)備高精度恒溫?zé)岚?/a> 高低溫測試儀快速退火爐刻蝕機(jī) 馬弗爐防潮箱潔凈烘箱無氧烘箱無塵烘箱固化烤箱氮?dú)?充氮烘箱真空烤箱潔凈烤箱

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更新日期
2025-09-16

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)產(chǎn)生的HMDS尾氣處理設(shè)備，HMDS廢氣凈化系統(tǒng)將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。從而產(chǎn)生的尾氣需要凈化處理后才可排放在大氣中。

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非標(biāo)無塵無氧烘箱，無氧干燥箱工業(yè)烘箱

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生產(chǎn)廠家

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