無(wú)塵烘箱概述

箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)，經(jīng)耐高溫高效空氣過(guò)濾器（100級(jí)）反復(fù)過(guò)濾，使烘箱工作室內(nèi)處于無(wú)塵狀態(tài)。無(wú)塵烤箱工作室為不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，并附設(shè)有超溫自動(dòng)停電及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。

無(wú)塵烘箱用途

用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

特點(diǎn)

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)

無(wú)塵等級(jí)：Class 100;     

溫度范圍：RT+10～200℃；

溫度均勻度：±2℃;    

溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）        

溫控精度：±0.1℃;        

工作室尺寸：自定義（mm）         

電源：380v , 50Hz，   

網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))