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  • 無(wú)氧烘箱,無(wú)氧化烘箱
    無(wú)氧烘箱,無(wú)氧化烘箱在半導(dǎo)體集成電路制造過(guò)程中,晶圓表面預(yù)處理、涂膠、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(Post Exposure Bake,PEB)、對(duì)準(zhǔn)、顯影、顯影后烘焙等因素都會(huì)對(duì)光刻工藝效果帶來(lái)顯著影響
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  • 百級(jí)無(wú)塵烘箱,不銹鋼無(wú)塵烤箱 工業(yè)烘箱
    百級(jí)無(wú)塵烘箱,不銹鋼無(wú)塵烤箱用于IC生產(chǎn)中前烘、后烘烤、堅(jiān)膜、裝片機(jī)后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。
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  • 有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱 工業(yè)烘箱
    有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱用于鍵合預(yù)處理,晶圓,芯片,電容,電池,封裝,光刻膠固化,PI固化等
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  • 充氮真空烘箱,快速降溫真空烤箱 工業(yè)烘箱
    充氮真空烘箱,快速降溫真空烤箱用于鍵合材料的真空預(yù)處理 、BCB固化、ITO膜退火,PI膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)。
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  • PI固化厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐 工業(yè)烘箱
    PI固化厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐多次實(shí)驗(yàn)后采用階梯升溫過(guò)程,亞胺化效果*。采用程控烘箱進(jìn)行亞胺化,烘箱內(nèi)為純N2氛圍.
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